Nika – 3
NIKA-3 was developed taking into account the operating experience of previous generation equipment, the recommendations of our customers, and the natural progress of the technical characteristics of component devices and software.
Automatic control system
An adaptive (self-adjusting) system for automatic control of the crystal diameter provides the necessary quality of control and stability throughout the entire growth process. A significant advantage of the ACS is the presence of several classes of automatic controllers, such as a self-tuning PID controller, an incremental controller, a self-tuning predictor-corrector, which, as practice has shown, provides the best quality control of the crystal size (ingot diameter). We take into account the specifics of the customer’s process and automate special technological techniques and procedures.
We take into account the specifics of the customer’s process and automate special technological techniques and procedures.
Температура плавления
до 2100О С
Диаметр тигля для расплава
до 150 мм (в зависимости от типа выращиваемого кристалла)
Масса выращиваемого кристалла
до 4 кг; 8 кг
Диапазон измерения датчика веса
до 5 кг; 10кг
Чувствительность датчика веса
не менее 0,02 г; 0,04 г
Рабочий ход верхнего штока
550 мм
Рабочая скорость перемещения верхнего штока:
от 0,1 до 120,0 мм/ч
Ускоренная скорость перемещения верхнего штока:
от 0,5 до 150,0 мм/мин
Скорость вращения верхнего штока
1-100 об/мин
Рабочий ход нижнего штока
200 мм
Тип преобразователя
транзисторный (IGBT технология)
Выходная мощность преобразователя
40 кВт; 100 кВт
Диапазон использования выходной мощности преобразователя частоты
от 1 до 100 % от используемой
Коэффициент полезного действия
не ниже 93%
Допустимое отклонение выходной мощности преобразователя частоты от установленной
± 0,05%
Давление инертного газа в камере
не более 1,5х105Па
Предельный форвакуум в ростовой камере при выключенном индукторе
не более 2,6 Па
Потребляемая мощность установки (без преобразователя частоты)
не более 3 кВт
Давление охлаждающей воды
от 200 кПа до 250 кПа
Other goods
Related products
