9, Academician Semenov Ave., Chernogolovka, Moscov region, 142432, Russia

«НИКА-SiC»: выращивание карбида кремния

«НИКА-SiC»: выращивание карбида кремния

Карбид кремний – востребованный широкозонный полупроводниковый материал в различных сферах промышленности. Его используют для создания деталей быстродействующей, устойчивой к радиационному излучению, силовой электроники. Объемные монокристаллы диаметром до 46 дюймов и высотой до 50мм можно выращивать на автоматизированной установке «НИКА-SiC». Принцип работы основан на усовершенствованном сублимационном методе Лели.

Карбид кремний – востребованный широкозонный полупроводниковый материал в различных сферах промышленности. Его используют для создания деталей быстродействующей, устойчивой к радиационному излучению, силовой электроники. Объемные монокристаллы диаметром до 46 дюймов и высотой до 50мм можно выращивать на автоматизированной установке «НИКА-SiC». Принцип работы основан на усовершенствованном сублимационном    методе Лели.

Особенности оборудования для выращивания кристаллов кремния

Установка НИКА-SiC  оснащена системой автоматического управления процессом выращивания. Сбор технологических данных осуществляет программный модуль, благодаря которому, риск получения бракованной продукции минимизирован.

Технические характеристики:

  • тип нагрева – индукционный;
  • температура сублимации max – до 2600 C;
  • частота генератора – 5-20 кГц;
  • максимальный диаметр кристалла – до 6 дюймов.

Узнайте больше об функциях устройства и его эксплуатации у производителя.

Производство монокристаллов кремния в Московской области

Компания «Ростокс-Н» предлагает заказать в Черноголовке искусственный сапфир и изделия из других материалов, а также оборудование для выращивания кристаллов. Уточнить подробности оформления заказа можно по телефону +7 (496) 527-35-91, +7 (496) 527 35 95+7 (496) 527 35 96 и электронной почте   info@rostox-n.ru.

Максимальный диаметр кристалла
до 6”
Тип нагрева
индукционный
Максимальная температура сублимации
до 2600º С
Внутренний диаметр кварцевого реактора
320 мм
Внутренний диаметр индуктора
380 мм
Выходная мощность ВЧ генератора
от 0,1 до 80 кВт
Шаг изменения мощности
0,0015 кВт
Частота генератора
5-20 кГц
КПД генератора
не ниже 95%
Допустимое отклонение выходной мощности
± 0,05%
Давление инертного газа в камере
не более 1,5x105 Па
Каналы измерения вакуума в камере в диапазоне 10-1-1100 мбар
1 шт
Каналы измерения вакуума в камере в диапазоне 10-4 -1000 мбар
2 шт
Предельный вакуум в реакторе
5,0x10-4 Па
Количество линий подачи технологических газов
2 (Ar, N2)
Максимальный проток газов по Ar ( N )
до 5 н.л/мин
Диапазон автоматического поддержания рабочего давления в реакторе
5-50 Torr
Давление охлажденной воды
от 200 кПа до 250 кПа
Расход охлаждающей воды
не более 3 м3/час