9, Academician Semenov Ave., Chernogolovka, Moscov region, 142432, Russia

НИКА-3

НИКА-3

НИКА-3 разработана с учетом опыта эксплуатации оборудования предыдущего поколения, рекомендаций наших заказчиков, естественного прогресса технических характеристик комплектующих устройств и программного обеспечения.

Система автоматического управления

Адаптивная (самонастраивающаяся) система автоматического управления диаметром кристалла обеспечивает необходимое качество управления и устойчивость на протяжении всего процесса роста. Существенным преимуществом САУ является наличие нескольких классов автоматических регуляторов, таких как самонастраивающийся PID – регулятор, инкрементальный регулятор, самонастраивающийся предиктор-корректор, который,  как показала практика, обеспечивает наилучшее качество управления размером кристалла (диаметром слитка). Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.

Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.

asu

Температура плавления
до 2100О С
Диаметр тигля для расплава
до 150 мм (в зависимости от типа выращиваемого кристалла)
Масса выращиваемого кристалла
до 4 кг; 8 кг
Диапазон измерения датчика веса
до 5 кг; 10кг
Чувствительность датчика веса
не менее 0,02 г; 0,04 г
Рабочий ход верхнего штока
550 мм
Рабочая скорость перемещения верхнего штока:
от 0,1 до 120,0 мм/ч
Ускоренная скорость перемещения верхнего штока:
от 0,5 до 150,0 мм/мин
Скорость вращения верхнего штока
1-100 об/мин
Рабочий ход нижнего штока
200 мм
Тип преобразователя
транзисторный (IGBT технология)
Выходная мощность преобразователя
40 кВт; 100 кВт
Диапазон использования выходной мощности преобразователя частоты
от 1 до 100 % от используемой
Коэффициент полезного действия
не ниже 93%
Допустимое отклонение выходной мощности преобразователя частоты от установленной
± 0,05%
Давление инертного газа в камере
не более 1,5х105Па
Предельный форвакуум в ростовой камере при выключенном индукторе
не более 2,6 Па
Потребляемая мощность установки (без преобразователя частоты)
не более 3 кВт
Давление охлаждающей воды
от 200 кПа до 250 кПа